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教授 韩宇
2010-10-26 09:46  

韩宇简历:1997年硕士毕业于辽宁大学物理系原子与分子物理专业。
副教授,硕士研究生导师,主讲课程《热力学与统计物理》、《理论物理》。
研究方向:离子注入半导体材料表面改性机理、材料物理。

主持科研项目:
1、沈阳市科技局项目《双晶X射线衍射研究组合离子注入材料改性机理》
2、辽宁省教委项目《组合离子注入材料改性机理的研究》
发表论文:
《N2+/As+组合离子注入硅的晶格应变及退火特性》
半导体学报2004 No.4
《XRD研究组合离子注入硅的辐射损伤》
微处理机2004 No.1
《组合离子注入的杂质浓度分布与损伤分布比较》
辽宁大学学报 2004 No.1

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